地震检波器的应用对我们有很大帮助，下面就来给大家介绍一下电容式地震检波器和MEMS地震检波器。
电容式地震检波器是根据两极板之间的距离、相互覆盖的面积、介电系数变化引起电容改变来设计的。与单电容地震检波器相比，差动电容地震检波器的灵敏度提高了一倍，相对非线性误差大大减小。由于模拟差动电容式检波器输出信号易受电磁信号干扰，已经逐渐被数字式差动电容检波器取代。MEMS数字检波器其中核心部件就是差动电容式地震检波器。
MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)检波器是目前性能较好的三分量数字地震检波器，是以硅材料为基底，采用MEMS技术，即微电子机械系统技术加工的差动电容式地震检波器。
21世纪初国外推出的VectorSeis系列和DSU系列数字地震检波器都是基于MEMS技术设计的微电子机械数字传感系统。MEMS地震检波器结构精巧，灵敏度比动圈式地震检波器高，动态范围较大，同时实现了检波器的数字化，抗干扰能力强。该类型地震检波器在实验室研制的性能效果较好，但是加工工艺为先进的MEMS技术，成本较高，在地震勘探过程中通常会使用几十甚至几百个检波器，因此将该类型检波器投入大型地震勘探生产实践还有一定的难度。
以上就是关于电容式地震检波器和MEMS地震检波器的介绍，希望对大家有所帮助。
